1200℃管式炉CVD系统广泛适用于高、中、低温CVD工艺，如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理.
SGM 1200℃管式炉CVD系统专门设计用于高温材料沉积之用。1200℃管式炉CVD系统具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点。
1、1200℃管式采用优质电炉丝加热。
2、炉管为刚玉炉管炉膛,
3、可预抽真空,便于通入参加反应的气体,进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。
4、管式炉有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。
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产品名称 |
1200℃单温区经济型两路气体CVD系统 |
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常规型号 |
SGM-O1200-50IC150-D2FH |
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3 |
SGM-O1200-60IC150-D2FH |
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4 |
SGM-O1200-80IC150-D2FH |
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5 |
SGM-O1200-100IC150-D2FH |
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炉膛模式 |
开启式 |
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显示模式 |
高亮数码管显示(LED) |
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炉膛材料 |
进口纤维 |
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加热元件 |
进口合金加热丝 |
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极限温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
≤1150℃ |
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升温速率 |
≤20℃(建议:10℃/min) |
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加热温区 |
单温区 |
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温区长度 |
440mm |
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恒温区长 |
200mm |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管常规直径 |
50mm |
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18 |
60mm |
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19 |
80mm |
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20 |
100mm |
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炉管长度 |
1000mm |
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密封方式 |
不锈钢真空法兰 |
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气 密 性 |
真空法兰和石英炉管的气密性*高可达4.03×10-3Pa |
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控制模式 |
智能PID多段程序控温 |
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控温精度 |
±1℃ |
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温度曲线 |
多段"时间—温度曲线"任意可设 |
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预存曲线 |
可预存1条温度曲线 |
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电流监控 |
指针式电流计 |
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电压监控 |
指针式电压计 |
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超温报警 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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断偶提示 |
有 |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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电气认证 |
CE认证 |
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供电电源 |
220V 50Hz～60Hz |
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整机功率 |
2.5KW |
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气体通道 |
可连接3种气源 |
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流 量 计 |
浮子流量计 |
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A路量程 |
10～100ml/min |
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B路量程 |
16～160ml/min |
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气路压力 |
-0.1～0.15 MPa |
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系统真空 |
5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置） |
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泵路链接 |
KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀 |
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真 空 计 |
标准配置机械真空计，也可选配电子真空计 |
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售后服务 |
12个月质保，终身保修 |
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包装形式 |
木箱或简装 |
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随机配件 |
石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。 |
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整套尺寸 |
左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm |
